導(dǎo)航
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沈天慧，半導(dǎo)體化學(xué)家 1923年4月27日生于浙江嘉善，籍貫浙江杭州。1949年畢業(yè)于上海大同大學(xué)化工系。1957年至1959年赴蘇聯(lián)進(jìn)修。上海交通大學(xué)教授。1980年當(dāng)選為中國(guó)科學(xué)院學(xué)部委員(院士)。2011年1月2日逝世。
參加了包頭稀土鐵礦以及鉬礦的分析工作。開(kāi)展了用三氯氫硅法制備超純硅的研究工作。1966-1986年從事半導(dǎo)體材料及航天用大規(guī)模集成電路的研制。1978年成功地用等平面N溝硅柵MOS工藝，研制出大規(guī)模集成電路數(shù)種，當(dāng)時(shí)在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位。1987年后，從事磁頭磁盤(pán)及電磁型微馬達(dá)的研制工作，已制出直徑為2mm的微馬達(dá)。
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